고속 검사를 지원하는 SAKI의 기술

SAKI의 최신 AOI, AXI는 한번에 볼 수 있는 사이즈를 확대해, 적은 FOV로의 촬상을 가능하게 하고 있습니다.
AOI는 시야 확대에 맞추어 광학계 파츠를 최적화해, 8um 카메라로 4500mm²/sec, 15um 카메라로 7000mm²/sec(업계 최고 속도 레벨)를 달성하고 있습니다.
AXI는 광역 이미징 탐지기와 이미지 처리 기술을 최적화하여 이전 모델과 비교하여 택트 타임을 50% 단축했습니다.

※당사 샘플 기판 A5 사이즈(150×214 mm) 촬상과 검사 시간의 합계
※검사 상황에 따라 검사 시간이 변동 될 수 있습니다.​

SAKI의 AOI, AXI, SPI는 구동부의 갠트리에 안정성이 높은 2축 구조를 채용하고 있습니다.
또한 고강성 프레임과 풀 클로즈드 모터 구동으로 높은 정지 ​​위치 정밀도를 자랑합니다.
이 하드웨어 구조를 통해 광학 헤드가 고속으로 이동하더라도 고화질 이미지를 촬영할 수 있습니다.

AOI · SPI의 갠트리 구조

SAKI는 촬상으로부터 화상 ​​데이터 처리, 3D 화상의 묘사까지, 일관된 화상 처리 프로세스를 자사 개발하고 있습니다.
촬상과 동시에 화상 처리를 실시하기 위해, 프로세스 이행시의 쓸데없는 웨이팅 타임을 삭감해, 사이클 타임의 고속화를 실현했습니다.
AOI와 SPI는 촬상으로부터 3D화상의 묘사까지 모두 자사 개발의 동일 소프트를 사용하며, X선도 CT연산을 자사 개발 소프트로 처리를 실시하고 있습니다.

촬상에서 검사까지의 최적화 이미지

동시 처리