SAKI만의 3D 이미지 취득 기술

부품 높이 측정의 기준이 되는 기판면을 정확하게 검색하기 위해 기판 휨의 높이를 자동 보정하는 기술입니다. 휨이 발생하고 있는 기판면의 높이를 자동 계측해, 기준 높이에 맞추는 것으로 정확한 높이 계측을 할 수 있습니다. AXI의 경우, 기판 표면 기준이 되는 기판 패턴을 자동 검색합니다. 보정 후 이미지는 XY 방향뿐만 아니라 Z 방향으로도 픽셀 단위로 보정됩니다.

SAKI는 보다 높은 검사 정밀도 향상을 위해, 각각의 FOV화상을 자연스럽게 연결해 기판 한 장을 3D 화상으로 관리를 할 수 있도록 했습니다. 완벽한 이미지 생성은 절대적인 하드웨어 정확성 외에도 고도의 이미지 처리를 제공합니다. 전체면에서 3차원 정보의 취득이 가능하기 때문에, 기판면에 발생하는 잉여 부품 검사도 가능합니다.

AOI 생성 이미지

AXI 생성 이미지

최근, 후공정의 자동화가 진행되어, AOI에서의 키높이 부품 검사가 요구되고 있습니다. SAKI의 Z축 탑재 옵션은 2D·3D AOI 양쪽에서 Z방향으로의 검사 능력을 확장합니다.
Z 방향으로 확장하여 촬영한 이미지를 합성하면 Z 방향으로도 원활한 부품 이미지를 얻을 수 있습니다. 이를 통해 솔더 검사와 키높이 부품의 높이 측정 검사와 부품면의 극성 검사를 동시에 실시할 수 있습니다.

XYZ 방향으로 매끄러운 3D 이미지 생성은 검사 라이브러리 관리 작업을 줄이는 데에도 기여합니다. 화상 합성 기술이 없는 경우, 복수 FOV에 걸치는 대형 부품은 FOV마다 검사 라이브러리를 나누어야 합니다. 한편, 화상 생성 기술을 가진 사키의 검사 장치는 기판상에 탑재된 부품을 모두 같은 라이브러리로 검사할 수 있는 이점이 있습니다. 사용자가 촬상 조건에 따라 라이브러리의 관리 방법을 나눌 필요가 없습니다.